袁智敏，张江陵，李从信，陈莉

• 1:华中理工大学

摘要(Abstract)：

从理论上对圆光栅的特性进行了分析及精确计算，设计出了光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器的执行机构及检测电路。该传感器既可以应用于实际的磁盘定位系统，也可以做进一步的改进，成为磁盘定位系统的专用性能测试装置。

关键词(KeyWords)：圆光栅；莫尔条纹；光刻伺服；定位系统；位置传感器

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):国家自然科学基金重点资助

作者(Author):袁智敏，张江陵，李从信，陈莉

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参考文献(References)：

• 1袁希光．传感器技术手册．北京：国防工业出版社，1986．750～758